你见过硅片清洗机吗?它是怎么工作的呢?

当一片晶圆被切割成很多小的硅片之后，会被放入这个转盘上。然后通过真空吸盘固定住，接着就进入清洗腔体。

这里会喷射出超纯水和三氯氢硅气体混合物，对硅片进行全方位无死角的冲洗，以此来去除表面的杂质、金属离子以及有机污染物等，以达到一个清洁的效果，为下一步的刻蚀做准备。

整个过程非常快，只需要几秒钟就能完成清洗，效率非常高。而且它还能通过视觉系统检测硅片是否清洗干净，如果发现不合格就会重新洗一遍。

清洗完后，再通过传送带输送到下一工序中。不得不说，这玩意真是科技与狠活啊!